到了车间一看,王胜文马上就明白了,黄师姐她们仍然是延续了光刻机发展的历史,首先采用了波长是365~405纳米的紫外激光波长。
没办法,受制于光学镜头的限制,再低了,光学镜头也分辨不出来。
看来他们选择上海光学机械厂做这种光刻机,是选对地方了,因为紫外线的分辨率,就是由光学仪器决定的,目前光学镜头的分辨率,最高也就能达到这个水平,再往下走,就必须生产出更加精密的光学镜头。
看来,目前这个水平下,使用193纳米的光源,从根本上来说,这套光学镜头,完全达不到标准。也就是说,按这种生产工艺,根本就产不出小于180纳米以下的芯片。
要知道,这个时期,这套光学系统,已经是足够先进了。
反正也不用心急,因为整个资本主义社会,仍然停留在做电子模块的阶段,我们能用这种设
更多内容加载中...请稍候...
本站只支持手机浏览器访问,若您看到此段落,代表章节内容加载失败,请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式,以及关闭广告屏蔽功能,或复制网址到其他浏览器阅读!
本章未完,请点击下一章继续阅读!若浏览器显示没有新章节了,请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单,退出阅读模式即可,谢谢!